岗位职责: 1、 参与制定适应公司整体研发方向需求的新工艺模组技术发展路线图,参与制定新工艺模组技术研发年度计划与相应年度研发预算编制; 2、 承担新工艺模组相关的新技术研发任务,负责新工艺模组新制程、新单项工艺的技术指标定义,主导新模组流程整合、新单项工艺调试与交付评价工作; 3、 协助TD制程整合部门促进研发项目的整体推进与按时交付; 4、 协助FAB生产制造中心推进重大技术改善或产品良率提升; 任职资格: 1、 物理、化学、材料、微电子等专业本科及以上学历; 2、 10年以上8寸或12寸晶圆制造PVD工艺相关经验,熟悉0.13um或更小线宽PVD工艺研发工作,熟悉铜电镀工艺; 3、 熟悉PVD工艺相关指标与器件性能的关联性;熟悉PVD工艺与光刻/ETCH/CMP的关联与协调; 4、 精通Applied Material Endura,LAM Altus等机台的操作及菜单设定,精通PVD各菜单参数对工艺的影响;
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