至微半导体（上海）有限公司成立于2017年，至微半导体作为至纯科技独立的事业部，定位为湿法业务运营平台，致力与打造高端湿法设备制造开发平台，并已形成了已Ultron作为本土品牌的槽式湿法清洗设备（B200，B300）和单晶圆湿法清洗设备（S300）系列。其全资子公司江苏启微半导体设备有限公司负责设备制造，同时至微旗下合肥晶圆再生和部件再生项目于2020年全面建设（4万平方米），并作为国内首条十二寸晶圆再生线，为填补国内专业领域服务空白贡献力量；此外，公司在日本、台湾地区均设有研发中心。公司约有80位专业技术人员分布于5处研发中心，积极开展跨区域研发合作，在4类工艺装备领域已经获得了多项专利授权，截止2020年底，湿法设备累计申请专利122项，其中发明专利74项。
