浙江六方碳素科技有限公司成立于2018年,公司位于浙江省诸暨市。是一家专注半导体行业新材料研发的高科技公司。
我们的愿景是:材料改变未来。
公司拥有碳化硅涂层,碳化钽涂层,整体碳化硅(CVD-Solid SiC)等先进涂层的核心技术,是国内领先的CVD涂层制造商。
公司目前主营产品为碳化硅涂层石墨外延托盘,包括第三代半导体SiC外延托盘,LED芯片外延用SiC涂层石墨外延托盘、硅单晶外延用碳化硅涂层石墨外延托盘。
六方半导体科技(宁波)有限公司作为浙江六方碳素科技有限公司的分公司,加盟甬江实验室,成立热场材料创新中心。依托甬江实验室整体资源支持,以产业需求为导向,开展热场材料基础研究及相关应用技术研究。中心近期聚焦CVD碳化硅涂层技术在半导体行业中的应用,研究CVD碳化硅涂层相关的基本科学问题,同时针对碳化硅涂层托盘展开面向应用的技术开发。中心设立的研究课题既包括CVD化学气相沉积等基础科学问题研究,也包括产业端亟需的关键材料研发。创始团队前期已经在CVD碳化硅涂层技术研究及产业化方面拥有坚实基础。
实验室网站:https://www.ylab.ac.cn/